Основные особенности

1. Покрывая комната: вертикальный одноместный номер, мульти-комната или горизонтальное одиночное, выбор структуры мульти-камеры,
 
материал нержавеющей стали 304, эффективный диаметр камеры вакуума 800mm- 3500mm, с водой
 
охлаждая структура, etc.
 
 
2. Система вакуума: механический насос, роторный насос лопасти, корни нагнетает, молекулярный насос, низкая температура
 
насос, насос диффузии с холодным колодцем, насос масла глубокого вакуума диффузии масла глубокого вакуума, принимает нержавеющую сталь
 
труба и клапан;
 
 
3. Система покрытия: 2 набора 2-10 наборов плоской цели или цели столбца, магнетрона брызгая, DC+RF DC
 
магнетрон брызгая, покрытие HDAP.
 
 
4. Надувать систему: 1-4 управление измерителя прокачки газа и индикатора подачи;
 
 
5. Система управления: экран касания, управление PLC, автоматических и ручных можно преобразовать в любое время. Реальный
 
дисплей времени детализировал параметры, режим полностью автоматического управления всего производственного процесса, автоматический
 
параметры процесса хранения. Основные электрические детали известные бренды как schneider.
 
 
6. Система безопасности: настраивать звук и светлый прибор сигнала тревоги аномалии воды, электричества и газа, и
 
снабжать соответствуя процедуры по защиты;
 
 
7. Вспомогательный нагнетать: быстрая обеспечивая циркуляцию ловушка водяного пара низкой температуры;
 
 
8. Система отопления: температура базовой платины может достигнуть 350 градусов с трубкой и другим
 
нагревающие элементы;
 
 
9. Смогите быть оборудовано со множественными источниками цели согласно требованиям клиента;