1. Система вакуума: механический насос, роторный насос лопасти, укореняет насос, молекулярный насос, криогенный
нагнетите, с охлаждаемой ловушкой системы извлечения скорости откачки насоса диффузии масла глубокого вакуума большой,
вакуумный насос насоса предварительной откачки опционные свободные от масл, трубы нержавеющей стали и клапаны.
2. Система покрытия: 1 набор - 6 наборов высокомощной магнитной электронной пушки ° е отклонения 270 и
тигель несколько точек, помогать источник иона залы системной конфигурации низложения и сопротивление
источник испарения.
3. Надувать систему: автоматическое управление расходомера для газов и аппаратуры дисплея подачи.
4. Система управления: экран касания цвета, управление ПЛК, автоматических и ручных можно преобразовать на любых
время. Дисплей в реальном времени детализировал параметры, режим полностью автоматического управления всего производственного процесса,
автоматические параметры процесса хранения. Основные электрические детали известные бренды как
шнайдер.
5. Система безопасности: настраивать акустический оптически прибор сигнала тревоги аномалии воды, электричества и газа, и
снабжать соответствуя процедуру по защиты.
6. Система топления и выпечки: примите тело топления трубки нержавеющей стали, температуру субстрата смогите
достигните 350 градусов, метр контроля температуры принимает японскую проводную аппаратуру,
точность контроля температуры плюс или минус 1 градус цельсия.
7. Управление толщины фильма: система мониторинга толщины фильма кристалла кварца, которая может контролировать
тариф испарения электронной пушки, точно контролирует толщину фильма, и автоматически переключает легко
и автоматически.
8. Электронная пушка и источник испарения: источник питания электронной пушки принимает частоту силы
подъем напряжения тока, цифровые управляемые схемы, искрясь с высоконапорной автоматической защитой, восстановление и
устойчивая функция луча, дистанционное управление, может коммуне с метром толщины кристалла кварца, покрывая процесс
режим автоматического управления.
Ваше сообщение должно содержать от 20 до 3000 символов!
