1. Комната покрытия вакуума: вертикальные одноместный номер, мульти-комната или горизонтальные определяют, структура мульти-камеры
 
выбор, материал нержавеющей стали 304, эффективный диаметр камеры вакуума 800мм- 3500мм,
 
с структурой водяного охлаждения, етк.
 
 
2. Система вакуума: механический насос, роторный насос лопасти, укореняет насос, молекулярный насос, низкую температуру
 
нагнетите, насос диффузии масла глубокого вакуума с холодом хорошо, насос диффузии масла глубокого вакуума, примите нержавеющую сталь
 
труба и клапан;
 
 
3. Система покрытия: 2 набора 2-10 наборов плоской цели или цели столбца, магнетрона брызгая, ДК+РФ ДК
 
магнетрон брызгая, покрытие ХДАП.
 
 
4. Надувать систему: 1-4 управление измерителя прокачки газа и индикатора подачи;
 
 
5. Система управления: экран касания, управление ПЛК, автоматических и ручных можно преобразовать в любое время. Реальный
 
приурочьте параметры детализированные дисплеем, режим полностью автоматического управления всего производственного процесса, автоматический
 
параметры процесса хранения. Основные электрические детали известные бренды как шнайдер.
 
 
6. Система безопасности: настраивать прибор сигнала тревоги звука и света аномалии воды, электричества и газа, и
 
снабжать соответствуя процедуры по защиты;